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还原炉后期温度控制

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发表于 2011-2-17 15:10:17 | 显示全部楼层 |阅读模式
我们这边是新开的多晶硅厂,我想跟大家谈论的是,怎样对待电耗,特别是象硅棒到后期的时候怎样控制电流,
后期电流高了炉内会产生雾化现象,怎样做到似雾非雾,同时能让三氯氢硅发生热分解?增快硅棒生产
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发表于 2011-2-17 19:17:42 | 显示全部楼层
电流高了炉内会产生雾化现象吗?我好象没发现。
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发表于 2011-2-18 00:43:06 | 显示全部楼层
热分解了你就哭吧!分解的四氯化硅看你怎么办?你们有冷氢化吗?没有就不要雾化了
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发表于 2011-2-19 14:44:18 | 显示全部楼层
回复 1# sanmily
    我个人认为雾化现象主要是因为电流过低,温度提不上去,进料量过大的原因!
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发表于 2011-2-22 16:55:58 | 显示全部楼层
个人认为雾化是一种反应,而在在这种反应下硅的沉积速度比较快,而且电耗相对低,但是严重的雾化会产生很多的硅粉,对设备造成影响。但是三氯氢硅热分解就会影响反应,硅沉积快的主反应应该是还原,而不是热分解。
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