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还原反应过程副产物的控制

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发表于 2011-2-21 13:41:07 | 显示全部楼层 |阅读模式
如题,在还原反应过程中如何控制来减少副产物SiCL4
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发表于 2011-2-21 14:33:36 | 显示全部楼层
1、控制进料比例。
2、控制好温度。
3、控制好压力。
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发表于 2011-2-21 15:21:46 | 显示全部楼层
这是个很好的议题,怎样的控制能合理有效地提高转化率、减少副产物生成量。
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 楼主| 发表于 2011-2-21 16:56:20 | 显示全部楼层
回复 2# luoye888
    前辈能具体的说说嘛?
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发表于 2011-2-21 17:31:19 | 显示全部楼层
回复 4# chengerqing2272
    你的tcs和氢气的比例和流速,流量会影响硅棒的质量,比如密值度,压力影响气场,温度影响温场,高了容易倒棒之类的,低了影响反应速率。
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 楼主| 发表于 2011-2-24 12:34:27 | 显示全部楼层
回复 5# luoye888
    嗯嗯,谢谢了啊
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发表于 2011-2-24 13:59:33 | 显示全部楼层
这个我自爱这里是不能说的
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发表于 2011-2-24 14:00:46 | 显示全部楼层
我在这里是不能说的,这也是一个职业道道问题。况且个厂都不一样。
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发表于 2011-2-25 10:29:04 | 显示全部楼层
楼上是太监。。。至于吗你,再说了,你说的就一定对!!!
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发表于 2011-2-28 01:56:05 | 显示全部楼层
如果真的能很好的控制四氯化硅的话,那还要什么热氢化和冷氢化干嘛呢。
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