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多晶硅后处理厂房有哪些要求?

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发表于 2009-9-10 10:33:45 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 zjiris 于 2009-9-10 10:46 编辑
欢迎大家来讨论~~~~~~~~~~~

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发表于 2009-9-10 13:41:27 | 显示全部楼层
后处理?你是指破碎包装还是单晶铸锭啊?
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发表于 2009-9-10 16:31:35 | 显示全部楼层
呵呵,问题不是很清楚。国内现有多晶硅厂的后处理车间基本上包括加工硅芯、破碎多晶硅块、包装等几个方面,如果硅芯的清洗也在后处理,那么就需要清洗线(包括酸洗、超纯水、干燥等)
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发表于 2009-9-10 16:34:24 | 显示全部楼层
应该包含切片、倒角、研磨、抛光等工序,加之必须包含的清洗、超纯水、化学品供应(CDS)、气体净化等,应该类似于半导体工厂,
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发表于 2009-9-18 15:01:11 | 显示全部楼层
以比较典型的国内设计公司定义的后处理厂房为例,完备的后处理厂房通常包括:
硅加工车间;石墨件制备间;硅芯炉间;硅芯清洗间;丫口清洗间;集中供酸及废液收集间;
磷硼检验间;色谱分析间;ICP准备及ICP间;原子吸收间;烘箱间;红外分析间;天平及显微镜间;仪器分析间;洁净衣服清洗间;成品检测间;化学分析间;样品存放间;制样间;光谱分析间;
热淬间;多晶硅周转间;多晶硅清洗间;内包装间
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发表于 2009-9-19 15:32:29 | 显示全部楼层
主要是在加工硅芯的厂房。 3# XNHHSDGM
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 楼主| 发表于 2009-10-16 13:39:24 | 显示全部楼层
这个洁净厂房是要专业的厂家来制作吧? 4# weixinmack
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 楼主| 发表于 2009-10-16 13:40:23 | 显示全部楼层
每个单位设计时功能划分可能不太相同,但目的都一样。对硅芯加工过程中所需要的设备一般也会划归到后处理,这样就可以集中设计暖通系统了。
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发表于 2009-10-17 09:44:07 | 显示全部楼层
同意笨青蛙的话:
以比较典型的国内设计公司定义的后处理厂房为例,完备的后处理厂房通常包括:
硅加工车间;石墨件制备间;硅芯炉间;硅芯清洗间;丫口清洗间;集中供酸及废液收集间;
磷硼检验间;色谱分析间;ICP准备及ICP间;原子吸收间;烘箱间;红外分析间;天平及显微镜间;仪器分析间;洁净衣服清洗间;成品检测间;化学分析间;样品存放间;制样间;光谱分析间;
热淬间;多晶硅周转间;多晶硅清洗间;内包装间
我们公司就是这么上的
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发表于 2009-11-13 00:34:21 | 显示全部楼层
加工硅芯的厂房最好是洁净厂房。请专业的洁净厂房设计单位来做。洁净等级万级足矣。最主要是保证硅芯在生产和搬运中不受污染。
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