在运行情况下，怎样判断三氯氢硅合成炉（沸腾炉）喷板上的喷嘴是否完好？

发表于 2011-3-9 10:28:27

请教大化工朋友：
在运行情况下，怎样判断三氯氢硅合成炉（沸腾炉）喷板上的喷嘴是否完好？

发表于 2011-3-9 10:45:06

看反应温度高低来判断

发表于 2011-3-9 12:02:12

回复 2# zhengwangranran
反应温度是可控制的，上320～330℃ 中330～340℃ 下350～360℃ 这怎么判断？如出现喷嘴坏，那温度（上、中、下）是什么分布？谢谢

发表于 2011-3-10 09:50:34

在运行情况下，怎样判断三氯氢硅合成炉（沸腾炉）喷板上的喷嘴是否完好？

发表于 2011-3-10 11:19:57

本人也很想了解，希望同行指点呀

发表于 2011-3-10 14:36:35

一般喷嘴坏了话0301的温度会很高，而且炉子反应不好，排渣后会发现有黄色片状物体

发表于 2011-3-10 21:35:34

一看合成炉喷板上面第一个点的温度是否存在偏高现象,
二看下封头温度是否异常,
三看产品纯度是否异常.

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