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在运行情况下,怎样判断三氯氢硅合成炉(沸腾炉)喷板上的喷嘴是否完好?

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发表于 2011-3-9 10:28:27 | 显示全部楼层 |阅读模式
请教大化工朋友:
在运行情况下,怎样判断三氯氢硅合成炉(沸腾炉)喷板上的喷嘴是否完好?
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发表于 2011-3-9 10:45:06 | 显示全部楼层
看反应温度高低来判断
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 楼主| 发表于 2011-3-9 12:02:12 | 显示全部楼层
回复 2# zhengwangranran
    反应温度是可控制的,上320~330℃ 中330~340℃ 下350~360℃ 这怎么判断?如出现喷嘴坏,那温度(上、中、下)是什么分布?谢谢
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 楼主| 发表于 2011-3-10 09:50:34 | 显示全部楼层
在运行情况下,怎样判断三氯氢硅合成炉(沸腾炉)喷板上的喷嘴是否完好?
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发表于 2011-3-10 11:19:57 | 显示全部楼层
本人也很想了解,希望同行指点呀
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发表于 2011-3-10 14:36:35 | 显示全部楼层
一般喷嘴坏了话0301的温度会很高,而且炉子反应不好,排渣后会发现有黄色片状物体
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发表于 2011-3-10 21:35:34 | 显示全部楼层
一看合成炉喷板上面第一个点的温度是否存在偏高现象,
二看下封头温度是否异常,
三看产品纯度是否异常.
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