请教多晶硅工艺中的在线气体分析

发表于 2010-4-8 20:29:35

序号测量组份检测目的选用量程仪器选型
1 CL2 纯度工艺控制 95.00～99.99% 用户指定
2 H2 纯度工艺控制 98.00～99.99% JNYQ—H－31C
3 微量氢工艺控制 0.0～1000PPm JNYQ—H－31M
4 O2 工艺控制 0.00～25% JNYQ—O－11C
5 CL2 中微量水工艺控制 0～10PPm JNYQ—D－22A

发表于 2010-4-9 12:25:00

谢谢回复,但是我查了下,楼上兄弟给的是用在氯碱/PVC过程气体分析仪,不是多晶硅工艺用到的气体分析吧?

发表于 2010-4-9 21:21:16

氯气水分在线分析仪，各位坛友有比较了解的吗？一般多晶硅厂家用的是什么类型的？据我所知一般都是现场取样分析，好象没得那种能连续在线测氯气中水分的。

发表于 2010-4-23 04:29:11

我有多晶硅中CL2水分分析仪器资料，以及那个厂家的几个多晶硅的业绩与验收报告，谁要得，请举手！QQ:541278548,13426363722

发表于 2011-3-11 17:59:40

回复 5# match_0
请给我一份资料：zhang9677@263.net
谢谢！

发表于 2011-3-12 08:22:49

在多晶硅中，精馏，氢化还原，尾气回收需要在分析。

发表于 2010-4-7 10:32:44

大家好,小弟在学习在线气体分析,想请教一下多晶硅工艺中那些气体需要在线分析? 了解工艺详情的大侠请指教.

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