有谁知道卤素灯加热击穿硅芯是什么个操作方法

发表于 2011-3-10 22:55:55

建议还是用高压，卤素灯对炉筒的反光度是有要求的，不然击穿是比较困难的！！

发表于 2011-3-11 22:14:35

建议还是用高压，卤素灯对炉筒的反光度是有要求的，不然击穿是比较困难的！！
化工人士发表于 2011-3-10 22:55

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能好好说说吗，多学学啊。

发表于 2011-3-10 22:55:00

建议用高压，因为高压击穿硅芯的时间短，可有效地缩短还原时间，增加多晶硅的产量

发表于 2011-3-12 08:42:28

卤素灯加热启炉发：首先将卤素灯插入氮气置换彻底的还原炉内，其次点亮卤素灯，然后电气给硅芯上高压电（1800V左右），给定一定值的电流，这样随着卤素灯预热硅芯的温度上升，硅芯加载电流逐渐上升，至给定电流时，硅芯导通，最后全部硅芯导通后关闭卤素灯，将其从炉内取出，紧固好顶盖，进行下一步操作。

发表于 2011-3-12 11:11:13

感谢各位朋友给予帮助！

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