还原炉硅棒裂棒

发表于 2010-1-9 11:06:11

控制好电流，稳定混合进料流量，把握好温度，冷却水方面也要控制好，关键时期要特别注意，成败就最后几分钟，哈哈，加油啊

发表于 2010-1-11 15:33:14

5天应该长的够大了吧，设计是长多长时间的

发表于 2010-1-13 11:36:58

应该是硅邦内外温差较大造成的吧。

发表于 2010-5-18 15:49:15

个人推测：还原炉内圈外圈电流值差别过大，导致温差过大，开始有少许裂纹，往后逐渐加大进料量则使裂纹在重力作用下增加，先是没电流，严重倒棒，

发表于 2010-5-19 06:17:25

关健是控制好温度！硅棒表面和内部不要温差太大

发表于 2010-5-20 23:02:45

控制好硅棒温度，冷却水流量。氢气与三氯氢硅的流量波动尽量小

发表于 2010-5-21 12:31:28

生长过程没遇到过，但是在停炉的过程中偶尔遇到，我个人认为硅棒局部温差引起的收缩和膨胀变形造成的。

发表于 2010-6-25 18:35:20

2楼的老师能说说具体如何控制吗？

发表于 2010-6-25 22:17:43

那我把进料量在最开始一到两天的时间就提到最大会出现裂棒这种情况吗？冷却水在这个过程中是稳定好还是不好？还请各位指点一二？

发表于 2010-6-30 22:15:18

总电流加到多少，压低气量，提高设定电流，避免温差太大，尽量将硅棒烧的通亮

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