多晶硅的质量分析

发表于 2010-11-16 21:10:01

一般都能到PPBW级的吧
PPM级估计是专门的TCS生产厂家做的。
多晶硅企业的分析精度要做到PPBa的

发表于 2010-11-18 18:11:25

你说的很笼统，纯度按“%”计应分析到小数点后两位，杂质有B、P、Fe、Al、Ca、Cu、Zn、Ni、Mg、Pb、Ti、Cr、Ge等十余种均可准确分析，分析精度国际国内很多厂家都做到了5ppt以下。楼主测到0.1ppm，还是做多晶硅的吗！即使做多晶硅，恐怕也不成规模，还须继续努力！

发表于 2010-11-27 15:58:08

我们都能测到ppb了，不过，准确性有待确认。呵呵。

发表于 2010-11-28 10:55:37

回复 4# qingshuang
一般粗精馏的料和买的料，先用ICP检，检不出来再上ICP-MS。精馏之后进还原的料就要用ICP-MS检了。ICP检1ppb以上的，ICP-MS检1ppb以下的。。目前需要解决的问题是ICP-MS检P的问题，如果能检准，对于过程控制有很大的帮助。

发表于 2010-11-28 15:24:43

磷31的分子量，检测起来，误差确实很大，我们看到分析结果也很纠结。

发表于 2011-3-7 13:17:52

分析其实对采样和制样对要有严格的规定，这么低的含量，容易污染

发表于 2011-3-7 13:18:41

分析其实对采样和制样对要有严格的规定，这么低的含量，容易污染

发表于 2011-3-7 15:14:31

现在国内的检测多说检测到了几个ppb，但是都是估计值。最准确为美国一家实验室，但是工序很多，很复杂。

发表于 2011-3-12 19:13:31

宁夏多晶硅分析技术群：119267012

发表于 2011-3-13 15:17:32

现在一般情况都是bbp 但是由于仪器特别灵敏在取样和进样的过程中很容易会带入杂质引起误差

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