三氯氢硅合成疑问？

发表于 2011-1-28 14:26:19

肯定有影响，但影响不是特别大，压力过高，可能高沸物多一点

发表于 2011-1-29 13:51:25

回复 2# wsl7777
高沸物的多少不是跟硅粉中含杂质量有关吗？你的意思是对纯度是没有什么影响的。

发表于 2011-1-30 14:12:54

压力高副产物多些

发表于 2011-3-11 14:52:09

回复 4# 海云飞
那压力低会不会促成生成DCS的副反应呢?

发表于 2011-3-11 16:34:45

理论上压力高利于三氯氢硅的合成

发表于 2011-3-12 08:24:34

你采用陶瓷过滤器器，压差高了，自动反吹不就可以了。

发表于 2011-3-13 15:39:36

肯定是压力高利于TCS合成，它是一个可逆反应，压力高有利于正反应进行。但是这不是主要原因主要是看炉内氯化氢和氢气的分压比值

发表于 2011-3-16 15:19:31

压力高主要是影响进炉HCL流量，和纯度关系不大，纯度关键看的炉温吧。。

发表于 2011-1-28 14:17:29

在TCS合成正常反应过程中，往往由于布袋除尘压差升高或由于其他原因导致三氯氢硅合成炉压力升高（出口压力），请问炉内压力的变化对TCS合成的纯度有影响吗？

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