停炉后的可否直接断掉氢气

发表于 2011-3-15 11:17:16

昨天，我们停了台炉子，断电后马上关掉氢气，过了会，将去尾气总管的阀门也关了。虽然没发现什么问题，但是总觉得有点不对劲!

发表于 2011-3-15 13:48:27

没有通过氢气来给硅棒降温，热量只能通过炉筒水来带走，只是置换要仔细点，也没什么大事！

发表于 2011-3-15 17:51:16

这样不好，硅棒容易脆，炉子空烧，这样的化对设备也不好，

发表于 2011-3-17 16:08:59

空烧总有空烧的道理

发表于 2011-3-17 16:44:14

通一段时间氢气一方面可以让炉内余留的三氯氢硅继续反应，一方面将三氯氢硅带入尾气系统回收。
直接氮气置换只能进洗涤塔水解掉，浪费。

发表于 2011-3-18 18:20:52

同意楼上的，直接断氢气太浪费了。现在tcs的价格也不低吧

发表于 2011-3-20 02:26:11

回复 5# zhangweicheng
他这个如果是TCS在断电之前已经断了的话，这样应该没大问题吧

发表于 2011-3-20 15:48:51

先断混合气一段时间后直接断电！这样没什么问题的！

发表于 2011-3-21 17:44:36

1.没有冷却，拆的时候很热。
2，容易倒棒。
3，容易置换不干净，发生意外事故。
4，对设备有一定的伤害。

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