多晶硅尾气含量的问题

本帖最后由 davidcao 于 2011-3-22 15:05 编辑
首先我是多晶硅的外行，最近从朋友那得到了一份德国做的尾气回收氩的资料，说是从单晶硅和多晶硅的炉内通过真空泵加压至回收装置得。
好像是西安的炉子，尾气组分为480vppm氧、2091vppm氮、535vppm一氧化碳、1000VPPM水和饱和油等。
我在网上找了下，好像大家都是使用SIEMENS的炉子，回收技术多是CDI或VGR，而他们是使用深冷分离的技术。
请问各位坛友，这种尾气组分是哪家的技术？常规的CDI或CGR是回收什么组分？

怎么没人回呢，写的不够详细？

首先在多晶硅中的尾气中是不可能有氧的，535vppm一氧化碳、1000VPPM水和饱和油更不会存在，这些在多晶硅生产中是特别忌讳的东西，有水，氯硅烷要分解，一氧化碳有还原性，你所说的油可能是硅油，目前使用较广和成熟的回收工艺采用CDI，和VGR比较，CDI系统使用的高低温相对较低和高，对设备，操作要求低，尾气回收主要是回收氯硅烷和HCL，氢气。

本帖最后由 davidcao 于 2011-3-22 18:47 编辑
回复 3# luoye888
首先谢谢你的解答。
我查了下，这个叫单晶（铸锭）炉，是在惰性气体（氩气）环境中，用石墨电阻加热器将硅半导体材料溶化，用直拉法生长单晶、使多晶硅铸锭的设备 。
应该是属于多晶硅的后续设备了。

个人觉得尾气组分中不应该有480vppm氧、2091vppm氮、535vppm一氧化碳、1000VPPM水和饱和，因为这些都含有氧元素，而多晶硅的系统中是不允许有氧元素的或者氧含量的固定范围值内；氮气是用来吹扫或者置换的，正常开车或者开炉后，正常的情况下尾气中应该也不应存在。

看来你真的是个外行，居然把铸锭炉和CDI、VGR搞到一起去了。又给我上了一课。
如果想问什么问题，请先给我个好评。