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困惑硅棒有弯曲的现象。请问是什么原因导致这种现象,该怎样解决呢

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发表于 2011-2-28 09:58:46 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 jindin312 于 2011-3-2 14:44 编辑
各位坛友:我们厂是个刚刚投产的新厂,正处于调试期。前一阶段因为外圈的温度总是很低所以生产出来的硅棒外圈总是最细的,最近我们刻意给外圈提温,虽然内圈的温度一直是最高的,但是会保持外圈与内圈的温度不会差很多,可是等硅棒出炉后,外圈的直径比内圈的直径平均多出10mm。而且内圈由于温度高,硅棒有弯曲的现象。请问是什么原因导致这种现象,该怎样解决呢????  谢谢了。。。
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发表于 2011-2-28 11:07:25 | 显示全部楼层
这是由于还原炉气场分布不均衡,导致热传递不均衡,可以改进一下气进口及气流速度(加大),但也不能太大,否则会吹倒,同时温度不要调得太高,否则会出现烧死软断裂等现象
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 楼主| 发表于 2011-3-1 17:03:26 | 显示全部楼层
回复 2# rhk2009
    改进气体流速的方法无非是提高进料压力,对整个系统来说是个考验啊!!!
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发表于 2011-3-2 13:06:22 | 显示全部楼层
回复 1# 123419628
    外圈温度低是因为外圈靠近炉壁,而还原炉本身是夹套层的,里面有HW冷却,相对而言带走的热量就多,所以温度低一点很正常。
    至于内圈弯曲,是因为进气孔的原因,你们可以调整一下,但是温度和电流还是要控制好,电流可以相对给低一点!
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发表于 2011-3-2 15:33:07 | 显示全部楼层
楼主所说的后期拆棒时发现硅棒弯曲,其实应该只是物料的降温作用,还有内圈温度偏高更加加重这种硅棒不均匀现象,进料点可以适当的改进
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发表于 2011-3-2 16:13:28 | 显示全部楼层
硅棒变弯,个人觉得是因为外圈提温后进一步导致了内圈升温,从而使内圈硅棒因温度过高而变软,我猜想内圈玉米粒应该比较多,不知是否?
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发表于 2011-3-3 09:29:43 | 显示全部楼层
外圈的温度低,主要是因为夹套水把温度带走了,内圈硅棒弯曲时流场分布不均匀,导致生长不均匀造成的,
   控制好炉内温度和冷却水(油)的问题,把气场(流量)适当调整。
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 楼主| 发表于 2011-3-3 12:06:53 | 显示全部楼层
回复 6# cjzhx123
硅棒表面是比较平整的。。。想问一下大家,横梁的尺寸和加工精度有什么标准么???
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发表于 2011-3-5 17:06:19 | 显示全部楼层
回复 6# cjzhx123
    你好 你上次那个气场的资料能发我一份么380483578@qq.com 谢谢啦
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发表于 2011-3-6 22:03:30 | 显示全部楼层
回复 8# 123419628
横梁加工精度看你们的加工磨具了,要做什么形状的,硅芯顶部的开口是V形还是U形,要能吻合,上面最好能卡住,否则在气体置换过程中会掉横梁。尺寸的话,看你们两电极之间的距离而定,不能太短,也不能过长,多摸索一下吧。
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