精馏塔提纯三氯氢硅

发表于 2011-3-24 10:38:36

目前也许是硅粉选择的问题吧，合成三氯氢硅的硼含量都在几百至上千PPB，加装了两个粗馏塔，再经一组吸附除硼装置后进入精馏提纯后，可达到小于0.1PPB的硼残留量。

发表于 2011-3-24 10:57:31

加塔和物理吸附同时使用吧，

发表于 2011-3-30 08:33:15

吸附除湿氮还用什么吸附

发表于 2008-10-23 13:33:56

精馏塔提纯三氯氢硅时候，如何能更好的除去硼磷杂质？

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