可能存在如下原因:
1、还原炉系统设备自身问题,在多晶硅棒生长过程中, 从还原炉自身看, 对硅棒的倾倒起到一定作用的主要包括进料气体分布装置[ 3] 和硅芯质量以及还原炉系统的测控装置, 此外, 炉内使用的硅芯的质量也很重要。
2、硅芯长度及质量硅芯的问题在很大程度上也可能导致还原炉的,倒棒现象发生。
3、还原炉系统测控装置还原炉测控装置主要是指还原炉系统的温度、压力及流量的测量和控制, 其中最主要的是还原炉的温度测量控制系统。
4、硅棒安装过程中存在的问题。
5、硅棒生长控制操作中的问题
6、炉内压力波动控制
7、硅芯电流控制。
8、冷却水系统中热水存在气体,二相流,导致设备震动,要定时排气。 |