大化工论坛

 找回密码
 立即注册

QQ登录

只需一步,快速开始

微信登录,快人一步

手机号码,快捷登录

手机号码,快捷登录

开启左侧

还原炉硅棒

[复制链接]
发表于 2011-3-20 15:43:38 | 显示全部楼层 |阅读模式
这与你们的炉子设计有关!最主要的是温度和气流的控制,还有注意装硅芯时的细节问题!
回复

使用道具 举报

发表于 2011-3-20 19:07:31 | 显示全部楼层
请问一下,是从底部开始倒得还是中上部?如果是底部,建议检测一下石墨卡瓣的纯度,如果是中上部,建议检查一下硅心粗细是否均匀
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2011-3-20 20:41:18 | 显示全部楼层
3-4天倒炉,与温度控制加电流有关
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2011-3-21 05:12:45 | 显示全部楼层
本人装还原炉整整5年,不过那是80年代的事情了。现在在设计院工作。上面大家分析了各种可能的情况,依我看:
(1)气流控制在3,4天后的影响在缩小,时间越长,影响越小;
(2)硅棒底部支撑部分结构可能有问题,支撑和电极的接触部分设计不合理,这个可能性最大;
(3)设备是否有共振现象,需要检查。如果3,4天这段时间倒的最多,过后就少了,共振的嫌疑较大。
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2011-3-21 06:44:44 | 显示全部楼层
有可能是电极设计有问题,导致硅棒在后期因为硅棒重心偏离中性线而致使硅棒倒棒
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2011-3-21 10:37:05 | 显示全部楼层
可能存在如下原因:
1、还原炉系统设备自身问题,在多晶硅棒生长过程中, 从还原炉自身看, 对硅棒的倾倒起到一定作用的主要包括进料气体分布装置[ 3] 和硅芯质量以及还原炉系统的测控装置, 此外, 炉内使用的硅芯的质量也很重要。
2、硅芯长度及质量硅芯的问题在很大程度上也可能导致还原炉的,倒棒现象发生。
3、还原炉系统测控装置还原炉测控装置主要是指还原炉系统的温度、压力及流量的测量和控制, 其中最主要的是还原炉的温度测量控制系统。
4、硅棒安装过程中存在的问题。
5、硅棒生长控制操作中的问题
6、炉内压力波动控制
7、硅芯电流控制。
8、冷却水系统中热水存在气体,二相流,导致设备震动,要定时排气。
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2011-3-21 11:50:19 | 显示全部楼层
谢谢上面各位了 都有道理
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2011-3-21 11:51:36 | 显示全部楼层
回复 3# cjzhx123
    应该是从底部开始倒的
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2011-3-21 18:29:23 | 显示全部楼层
情况楼上说的都有一定的关系,得好好查查才是
好久没见到倒棒了,现在倒棒都难啊
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2011-3-29 15:54:37 | 显示全部楼层
回复 5# wiseboy
请问先生所说的共振是指哪些原因造成的,是冷却水流动不均还是其他。
回复 支持 反对

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册 |

本版积分规则

QQ|Archiver|手机版|小黑屋|大化工论坛 ( 鲁ICP备12015736号-12 )

GMT+8, 2025-1-4 18:32 , Processed in 0.044685 second(s), 25 queries .

Powered by Discuz! X3.4

Copyright © 2001-2023, Tencent Cloud.

快速回复 返回顶部 返回列表