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多晶硅工艺模拟软件?

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发表于 2011-4-1 13:13:45 | 显示全部楼层 |阅读模式
你说的那两种软件只能模拟单元操作,对还原氢化无效。
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发表于 2011-4-1 12:41:38 | 显示全部楼层

谁知道目前多晶硅工艺都有那几种模拟软件可以模拟,听人说过,ASPEN可以,PRO II可以,但不知道有没有专用模块,偏差怎么样?
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