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还原炉内雾化原因

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发表于 2011-3-27 13:46:55 | 显示全部楼层 |阅读模式
温度过高或过低都会雾化
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发表于 2011-3-27 21:03:26 | 显示全部楼层
最好理解的就是反应太剧烈,产生的硅粉来不及沉积
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发表于 2011-3-29 13:16:00 | 显示全部楼层
原因是多反方面的  配比啊  温度啊   过程控制不好
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发表于 2011-3-29 14:20:56 | 显示全部楼层
还原炉内HCL含量过高。。。
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发表于 2011-3-29 15:23:41 | 显示全部楼层
进料配比没调好,三氯氢硅多,氢气少
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发表于 2011-3-30 21:26:46 | 显示全部楼层
没遇到过这种情况!不知道你说的是什么情况!
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发表于 2011-4-4 21:32:23 | 显示全部楼层
三氯氢硅多了就会雾化 跟温度氢气量有关
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发表于 2011-4-5 23:07:05 | 显示全部楼层
温度高了难倒也会产生雾化?
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发表于 2011-4-6 16:46:04 | 显示全部楼层
回复 9# wxky83
    我想他说的温度高是指气液分离器内的温度高了,导致三氯氢硅大量气化,影响了配比。
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发表于 2011-3-27 10:40:36 | 显示全部楼层

求助,造成还原炉内雾化的原因,请高手帮忙分析分析!
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