多晶硅生产过程中的接地问题

前期接地故障。一、可能是电极绝缘套被烧黑后、或者绝缘套上被附着沉积物，造成绝缘套绝缘降低，使得底盘接地停炉；二、也可能是由于硅芯在前期生长过程中，外环的硅芯被物料给吹得歪向炉内壁，从而导致接地停炉。

另外，可以根据以上两种可能情况进行相应的跟踪验证。步骤如下：1、在停炉之后，吊开炉筒的时候，注意观察是否有硅芯向炉内壁倾斜，如果倾斜的严重，但没有靠着炉筒，那么可能是横梁的尖点向炉筒放电而造成接地；如果直接靠着炉筒，那么一定是硅芯与炉筒接触导致接地故障（吊开炉筒时，一定要非常慢 的速度吊开，否则不易观察到相关的现象）；2、吊开炉筒后，仔细观察绝缘四氟套是否有发黑或者附着物（吊开炉筒后，不要急于取掉硅芯和四氟套，因为观察完以后，要对底盘进行耐高压试验），无论是否有什么、没有什么，都在观察完现象后，进入第3步行；3、对底盘进行耐高压试验。如果试验合格，那么问题不在于四氟套，原因应该从硅芯和生产时热负荷的情况考虑。如果试验不合格，那么除了四氟套的绝缘有问题以外，
还需要考虑检查底盘下的电极铜排之间是否有短路的接触、电极水泄漏到铜排上等情况

楼上分析的很到位，不得不说大化工很强大啊

有可能是硅芯在高电压下断裂接触钟罩内壁造成的，可以从视镜观察到。

在多晶硅生产前期，容易产生接地，而使不能生长