硅棒表面的异常颜色

发表于 2011-3-4 21:10:25

是不是生长时有氮气窜进去了生成氮化物

发表于 2011-3-4 23:00:21

回复 2# youyuan_2008
应该不是这个原因，以前停炉时直接用氮气置换也没出现这种现象。

发表于 2011-3-5 15:18:15

这个恐怕是你回收的氢气或氯硅烷中碳的含量增多，

发表于 2011-3-5 17:56:01

个人感觉应该是掺入了碳生成了碳化硅，可能是你原料气中混有碳，甲烷的可能性比较大

发表于 2011-3-6 12:51:53

原料中碳含量高。。

发表于 2011-3-8 15:14:21

没遇见过。学习了！

发表于 2011-3-8 18:49:35

本帖最后由 hmc54 于 2011-3-8 18:51 编辑
回复 1# yuanrs
可以从氢气的角度入手看看，如果侧路赶气用氢改成电解氢或回收氢看看会不会好转，还有就是停炉时空烧时间要充分，侧路氢不要太小不，保证一定气流速度等。

发表于 2011-3-8 19:44:02

可以测量一下碳含量啊！

发表于 2011-3-13 16:39:00

以前没遇到现在多学习

发表于 2011-3-13 20:41:50

回复 1# yuanrs
最好是发个图来看一下！

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