还原炉内喷嘴对气场的影响

发表于 2011-4-3 15:33:08

我们厂正在改造，目前考虑炉内旋流的形式，喷嘴真在加工

发表于 2011-4-3 22:32:51

喷嘴只是改变形态，配方改变的是炉产

发表于 2011-4-3 22:32:56

喷嘴只是改变形态，配方改变的是炉产

发表于 2011-4-4 13:49:13

喷嘴会影响气体分布，影响沉积速率，影响开炉成功率，当然会影响产量

发表于 2011-4-4 13:49:39

喷嘴会影响气体分布，影响沉积速率，影响开炉成功率，当然会影响产量

发表于 2011-4-4 14:13:43

喷嘴会影响气体分布，沉积速率，开炉成功率

发表于 2011-4-4 19:43:57

喷嘴高度不合适会导致根部长不好，孔径与进气状态不一样也会影响炉内气体流场分布及硅棒表面反应层，导致沉积速率会有变化。而且炉内气体流速越高，意味着TCS和氢气的物料循环量越大。

发表于 2011-4-5 10:38:30

影响因素很多，不断探索，不断改进才能不断提高，这是勿庸置疑的。

发表于 2011-4-5 13:25:28

喷嘴到底采用什么形式的合适还有就是设置多少个喷嘴合适刚开始9对棒炉的喷嘴很简单混合气与尾气夹套形式现在采用18对正在摸索状态大家有什么好的建议吗？讨论一下

发表于 2011-4-7 00:34:35

外喷嘴可以改大些

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