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无定形硅形成的原因

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发表于 2010-1-25 22:26:43 | 显示全部楼层 |阅读模式
硅棒生长到中后期时,硅棒时不时的会出现黑色的斑点,说的是无定形硅,和配比有关,请问是H2/sicl3的配比过大还是过小?
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发表于 2010-1-26 11:20:31 | 显示全部楼层
主要还是温度决定的
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发表于 2010-1-26 23:59:08 | 显示全部楼层
应该与温度、压力都有关系,但这两个参数应该不会有大的变化。
主要还是配比吧,H2/sicl3的配比过小。
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发表于 2010-1-27 14:09:05 | 显示全部楼层
局部进液了,炉内汽化后的低温沉积反应
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发表于 2010-2-1 11:48:39 | 显示全部楼层
多少温度能产生无定型硅? 2# laowang1982
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发表于 2010-2-1 18:39:08 | 显示全部楼层
局部进液了,炉内汽化后的低温沉积反应
华岭 发表于 2010-1-27 14:09

                                
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局部进液了没见过,楼上兄弟能将的详细点吗?
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发表于 2010-1-27 14:09:00 | 显示全部楼层
局部进液
指的是混合汽中含有未完全汽化的TCS液滴带入炉中
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发表于 2010-2-22 16:33:21 | 显示全部楼层
6# feibiao101 就是液态三氯氢硅进入还原炉没有完全气化。
不知道贵厂用的是列壁管,鼓泡器还是换热器。
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发表于 2010-2-22 16:37:46 | 显示全部楼层
以我的经验,DCS含量多或进料温度过低都会造成硅粉产生(可能就是所说的无定硅吧),不知各位坛友是否有同感,或有其它看法。
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