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二氯二氢硅产生量(DCS)

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发表于 2011-5-11 11:22:12 | 显示全部楼层 |阅读模式
使用改良西门子法工艺生产的多晶硅厂,在PCS还原沉积、TCS合成工段会产生DCS,因炉子结构以及使用工况的不同导致产生量的不同,请各位工厂运行大侠盖楼,统计DCS的产生量。
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 楼主| 发表于 2011-5-12 11:10:28 | 显示全部楼层
没人关注,自己顶一下!
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