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硅烷法工艺

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发表于 2010-7-8 08:35:45 | 显示全部楼层
硅烷法对工艺过程控制条件方面是相当严格的,按目前国内的设备、原料及工艺技能难有取得突破
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发表于 2010-11-17 11:25:38 | 显示全部楼层
也许到明年大家就不这么看了
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发表于 2010-11-17 13:13:34 | 显示全部楼层
成本很重要,决定企业的成长。西门子的技术要多烂就有多烂。
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发表于 2011-5-20 15:15:17 | 显示全部楼层
楼上说的有道理 ,理论说硅烷法成本比改了西门子法成本低,两种方法我都生产过,就目前技术情况来说,还原前面的工段硅烷法成本比改了西门子法成本低,还原工段差不多,但是硅烷法生产的多晶硅纯度高,不存在除B.P的问题  QQ412590517
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发表于 2011-5-22 23:16:06 | 显示全部楼层
回复 9# jxjinby
    天津泰亨年产300吨硅烷项目已经投产,硅化镁法,中试纯度达到6N,
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发表于 2010-1-4 10:46:23 | 显示全部楼层

国内生产多晶硅的厂家很多,但大部分都是以三氯氢硅法生产的;而使用硅烷法的并不多,其中最主要的就是六九和中宁
硅烷法,顾名思义,就是以硅烷为原料生产多晶硅,由于硅烷中只有硅和氢两种元素,在纯度控制上比三氯氢硅法容易。而整个工艺的关键还是在于生产合格的硅烷。
六九和中宁都采用同样的技术生产硅烷,都是用氢化铝钠和四氟化硅反应生产所得,真正反应比较简单,控制好温度就能顺利生产出硅烷,但由于硅烷极易燃烧或爆炸,因此试压检漏很关键。
氢化铝钠就是简单的将氢气、钠、和铝粉混合在催化剂的作用下反应所得。
四氟化硅的纯度对硅烷的精馏有一定的影响,因为四氟化硅的杂质气体可能会进入粗硅烷中,会对后续的精馏增加负荷或加大难度。
如今,六九和中宁的现状都处于试车阶段,六九的进度稍微慢些,现刚开始试车;中宁的进度相对较快,现所有车间试车均已结束,等待最终的多晶硅出炉。
谁有六九或中宁的更确切消息,希望能一起分享,谢谢!
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