利用硅烷生产多晶硅

发表于 2011-6-7 15:37:37

LZ能稍微介绍下工艺吗？学习下！

发表于 2011-6-7 15:43:13

硅烷热分解在硅芯表面沉积

发表于 2011-6-7 16:08:10

沉积原理一样都是化学气相沉积，韩国在苏州有家企业不是在展会上展出过硅烷CVD反应炉嘛，但是这种炉子没用过，至少数据指标上比传统的CVD炉不具备任何优势，硅烷生产高纯的颗粒多晶硅倒是很来劲，毕竟硅烷热裂解非常迅速，流化床生产颗粒状多晶比较好的保证沉积速率。

发表于 2011-6-14 13:20:06

革命尚未成功，同志尚须努力！

发表于 2011-6-15 08:54:43

中宁同学不少啊

发表于 2011-6-7 15:01:06

经过一段时间的努力成功利用硅烷生产高纯度电子级多晶硅，还原工艺与西门子三氯氢硅生产多晶硅相似

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