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还原生长跳停问题

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发表于 2011-6-16 11:50:20 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位大虾,我们厂这半年总是在还原生产过程中出现裂棒跳停问题,但是打开炉筒却很少看到硅棒有裂棒现象, 而电气控制系统几乎都是报裂棒后接地,我想请教一下这个接地到底是怎么回事,我们打开炉筒却没有发现有多晶硅和电极相连啊 ,不解中……
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发表于 2011-6-16 12:53:22 | 显示全部楼层
电气问题,重新设置一下
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发表于 2011-6-16 13:31:06 | 显示全部楼层
可以把专注点放在绝缘层上,看看绝缘层是不是老化了
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发表于 2011-6-16 19:03:46 | 显示全部楼层
调控机柜软件的问题
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