多晶硅成品B含量

发表于 2011-5-3 10:35:39

多晶硅成品中B含量高是怎么回事哦？

发表于 2011-5-3 10:44:29

多晶硅成品中B含量的来源：1、还原所用精制三氯氢硅中的B含量
                     2、还原系统沾污
                     3、还原工艺控制
                     4、B、P检炉控制

发表于 2011-5-3 10:47:03

有多高啊？2.0PPm以上？主要来源于原料

发表于 2011-6-17 14:29:42

回收氢气纯度达不到

发表于 2011-6-17 17:29:56

物料与管道的洁净度，还有控制方面是否合理

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