多晶硅生长时怎样测量温度？

发表于 2011-1-5 16:09:04

请问多晶硅在还原炉内生长时需不需要测硅棒的温度？一般是用什么测的？温度大概是多少？

发表于 2011-1-5 20:55:07

回复 1# majin1006
要测，我们用红外测温仪

发表于 2011-1-5 21:34:33

红外测温远处显示仪，一般控制在1050度

发表于 2011-1-6 09:54:36

建议你使用德国造红外测温仪，误差范围很小的。

发表于 2011-1-7 10:35:49

我们都是用眼睛看的，很准！红外测温仪用着用着就不准确了，而且视镜的洁净程度对他的干扰太大了，基本上不可靠，只靠测温仪升温度，硅棒肯定会烧流的！

发表于 2011-1-7 13:59:04

用眼睛比测温仪可靠？

发表于 2011-1-8 10:17:58

靠经验，高温仪和眼睛观察兼顾。

发表于 2011-2-18 16:01:12

的确视镜脏了红外测温仪就不准了，用眼睛测倒是第一次听说

发表于 2011-2-18 21:04:26

不是眼睛，是经验吧.........

发表于 2011-2-19 10:17:04

还原炉钟罩上有测温视镜孔，用红外测温仪。结合经验进行判断实际的温度范围！

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