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多晶硅原料过滤问题

发表于 2011-6-19 11:38:50 | 显示全部楼层 |阅读模式

请问合成三氯氢硅在进入精馏前，需要过滤到的精度是多少，比如--.--微米或纳米?

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发表于 2011-6-22 15:34:17 | 显示全部楼层

一般在泵前安装60的管道过滤器就ok了。

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发表于 2011-6-22 15:45:29 | 显示全部楼层

好像还真没有什么特别的要求

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楼主| 发表于 2011-6-23 22:15:05 | 显示全部楼层

回复 2# luoye888
那精馏后的三氯氢硅产品里还含有固体悬浮物吗

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