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多晶硅颜色发黑,质地疏松,会导致磷检棒低阻现象吗?

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发表于 2009-9-21 11:43:25 | 显示全部楼层 |阅读模式
会的   一般在这种情况下   分析出来的结果多不是很让人满意的
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发表于 2009-9-21 15:49:35 | 显示全部楼层
是不是氮气漏进去了。
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发表于 2009-9-22 09:17:08 | 显示全部楼层
我想要控制一下多晶硅的生长条件了,重要的是温度、配比要与硅棒直径相匹配。
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发表于 2011-6-29 14:50:19 | 显示全部楼层
颜色变黑原因是多晶硅已经被氮化,可能是停炉时氮气置换过多吧,质地疏松原因是在进料的时候较快。
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发表于 2009-9-21 10:17:05 | 显示全部楼层

多晶硅颜色发黑,质地疏松,会导致磷检棒低阻现象吗?
由于近期发现多晶硅的硅块颜色发黑,质地疏松,砸碎的时候出现很多粉状的,不想以前砸碎的都是成块状的,但是质谱的检测报告出来,元素含量也不是很高,基本和以前正常的时候差不多,如今的多晶硅做磷检的电阻基本是测不出电阻率,也有点原因可能是磷检棒拉制不成晶,但是还是想问下到底发黑是否和磷检的质量相关。
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