还原炉内长硅粉

哇，你们是什么时候开车运行的？连雾化都不知道？
硅粉的生成大多是后期尾气温度大于550度就会形成，这个跟配比也稍微有点关系，但是主要关系还算因为三氯氢硅的自分解，你可以百度一下三氯氢硅自分解的温度。

说实话还真不知道是这个原因，谢谢了

回复 2# ourlive
    这位仁兄高见，只是我不明白尾气管温度高于550℃怎么会造成炉内产生硅粉呢，应该是尾气管内产生硅粉才对呀？

回复 4# yuanrs
    所以说学习要认真，看字要看清楚撒。
   我说的是尾气的温度高于550摄氏度。
   一般引进国外的还原工艺包的话是没有尾气换热器的，进气温度都维持在130摄氏度左右，但是随着后期硅棒的功率变大，辐射的能量很高，而且三氯氢硅的分解反应他有一种特性，就是一旦开始自分解那就抑制不住，除非把进料停了重新进料，否则调配比的作用很小，发生雾化的处理方式一般是降三氯氢硅量跟降功率。

本帖最后由 yuanrs 于 2011-6-24 22:32 编辑
回复 5# ourlive
  谢谢你的回复，不过， 那为什么我们这里有时候突发性的几个炉对地漏电停炉，打开后底座上有厚厚一层硅粉，并且运行得久的和运行的不久的都有硅粉产生？（（一旦出现硅粉，运行得久的和运行得不久的都难幸免。）

漏电的话炉内有无打火的现象，如果是电极旁边才出现黑色粉末那可能不是硅粉，而是四氟绝缘套被击穿高温下分解形成的碳粉。
还原炉运行中雾化严重的时候地盘才会沉积硅粉，并且沉积的均匀厚度一致。

提高三氯氢硅进料温度、高温冷却水回水温度
密切关注红外测微仪的温度，随时调整！
会不会是进气不均匀？你那几台炉子底盘进料的方式和其它炉子一样么？

还原炉内长硅粉，在生产时有几台炉子经常生成硅粉，我一直认为是氢气流量不足，但把氢气的比例提高到3.5以上，有时更高，但还是一样。说它是物料问题吧，但就那么几台才有，而且都是在中后期才出现，电流或其他原因，但在相同的条件下其他的又没有。想请问一下是什么原因呢，谁能帮我一下，谢谢！