多晶硅清洗可否用别的物质代替硝酸?

发表于 2011-7-10 19:11:26

多晶硅清洗一般都用HF+硝酸，硝酸会产生二氧化氮，污染大，能否用其它的物质来代替硝酸达到同样的清洗效果呢？

发表于 2011-7-10 19:46:38

至少目前是这样洗。
您有想法很好，为什么您不在自己的企业做个试验呢？说不定您的试验成功后会让您一鸣惊人呢。
我看好你呦。

发表于 2011-7-10 19:49:32

至少目前是这样洗。
您有想法很好，为什么您不在自己的企业做个试验呢？说不定您的试验成功后会让您一鸣惊 ...
qugd 发表于 2011-7-10 19:46

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我想用其它酸来代替硝酸，试了常用的盐酸，硫酸，磷酸，高氯酸等无机酸以及一些常见的有机酸如苯甲酸等发现都不行。

发表于 2011-7-10 19:46:00

最好做成免洗，就不要考虑酸的污染了

发表于 2011-7-11 08:52:09

那么怎样做出免洗料呢

发表于 2011-7-11 15:40:39

做免洗料恐怕比这个还困难

发表于 2011-7-12 08:52:31

回复 1# hqzhang
个人感觉应该找带有强氧化性的物质，不一定局限于酸

发表于 2011-7-12 10:04:18

可以用氢氟酸和硝酸混合清洗。

发表于 2011-7-12 17:09:12

回复 hqzhang
个人感觉应该找带有强氧化性的物质，不一定局限于酸
lzf1211 发表于 2011-7-12 10:04

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嗯，提供了一个思路，我试试其它的除了酸的强氧化物质

发表于 2011-7-13 21:18:29

KF可以吗有没有厂家不是HD+HNO3的

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