请问MSA的还原炉CVD 和GT的还原炉CVD 各有啥特点

发表于 2009-9-1 16:09:06

我们用的德国瓦克MSA炉子是18对棒的美国GT炉子是24对棒的

发表于 2009-9-1 17:09:52

MSA和GT还原炉不就是硅棒的对数一样吗?当然电极也一样.

发表于 2009-9-1 21:37:51

GT的还原炉有很多的优点，也是未来还原制取多晶硅的发展潮流。

发表于 2011-7-8 09:51:43

不了解情况，观望。

发表于 2011-7-8 09:56:58

GT炉子的直径，棒数都比MSA多，没有视孔氢，在工艺控制上也略有不同

发表于 2011-7-8 10:58:49

GT的还原炉比较节能，单耗远远低于MSA的炉子！

发表于 2011-7-9 16:39:13

GT炉有12、18、24对的，MSA炉目前我们只用过12对的，不过不大好，综合指标甚至不如国产森松的，建议用国产大型还原炉！

发表于 2011-7-10 09:52:50

GT是美国货，MSA是德国货，两家设备厂都给国际多晶硅大厂生产过还原炉，但目前为止他们最大的还原炉还只是24对棒的。因为老外很严谨，他们在上新设备时要试验很长时间，确保实用。据说MSA在试验大还原炉时，无法很好的解决中部凹陷的问题，所以一直没有生产

发表于 2011-7-20 10:35:03

同意楼上：GT是美国货，MSA是德国货，两家设备厂都给国际多晶硅大厂生产过还原炉，但目前为止他们最大的还原炉还只是24对棒的。因为老外很严谨，他们在上新设备时要试验很长时间，确保实用。据说MSA在试验大还原炉时，无法很好的解决中部凹陷的问题，所以一直没有生产。

发表于 2011-7-20 22:02:35

回复 19# cammy166
MSA已经出24对以上的还原炉了。GT也是。

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