三氯氢硅合成中钛含量很高

发表于 2011-8-4 21:56:47

三氯氢硅合成中钛含量很高，达到2000PPm以上，硅粉没有问题！钛含量为什么会那么高呢？是否和合成炉的材质有关？因为合成炉的材质内含钛！

发表于 2011-8-5 10:51:15

估计有可能，硅粉本来硬度就大，可能在流化床反应器内沸腾的厉害造成了摩擦加剧，引起了此种情况

发表于 2011-8-5 15:17:13

钛应该很好去除啊，在合成反应中生成的TiCl4是高沸物，精馏很容易去除

发表于 2011-8-5 15:17:27

钛应该很好去除啊，在合成反应中生成的TiCl4是高沸物，精馏很容易去除

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