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多晶硅尾气回收-还原气分离技术

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发表于 2010-7-21 09:37:11 | 显示全部楼层
我公司采用的是TSA法,达到分离氢气的最终效果。如有需要,请联系QQ:1010953838      电子邮件:scdktll@126.com
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发表于 2010-7-25 11:27:57 | 显示全部楼层
吸附塔不只是这个循环,还有回压冷却,减压加热,构成四大块 组合循环
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发表于 2011-8-12 12:08:45 | 显示全部楼层
我们厂就是变压吸附,我觉得还行挺好的只不过压力太高纯度能达到四个九。  还是比较成熟的一个工艺,和空压制氮的PSA有点相似。
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发表于 2011-8-13 11:08:28 | 显示全部楼层
那尾气吸附用什么材料啊,尾气还有HCL  和 H2  量大啊,精度怎么这么高。    请教了
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发表于 2011-8-13 12:05:14 | 显示全部楼层
尾气中,氯化氢的成分没有那么高,而且氢气的成分也没有那么低!
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发表于 2011-8-13 21:56:17 | 显示全部楼层
楼主提的尾气更接近于三氯氢硅合成的尾气,而且是冷凝后的。
变压吸附的主要问题在于回收率!
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