如何消除硅棒的腐蚀

发表于 2011-8-6 09:39:08

大虾们硅棒在生长发生腐蚀的原因是啥原因，又是那些因素决定的？如何消除？

发表于 2011-8-7 17:07:20

你说说是怎么个腐蚀法，你对硅棒采用酸清洗后，再采用高纯水清洗好，就可以消除了

发表于 2011-8-8 15:46:24

回复 2# luoye888
我说的是硅棒在还原炉里生长时出现了腐蚀现象，它产生的原因是什么？又如何消除哪？谢谢！

发表于 2011-8-8 16:27:31

还是不清楚你说的现象，请发张清晰的图片看看！当否？

发表于 2011-8-8 16:55:17

回复 3# 临江曲
你说的是爆米花现象吧，这个你要控制好配比，温度和流量，具体需要摸索

发表于 2011-8-9 10:40:45

硅棒腐蚀，个人认为是Hcl含量偏高了，造成HCL于硅反应，建议加大气流速度，使整个还原炉气场处于湍动状态

发表于 2011-8-10 14:02:06

楼上的说法很对，但是四氯化硅也要和硅反映，过大得气体循环量会导致一次转化率降低，对后续尾气回收的生产负荷增大。

发表于 2011-8-14 17:17:02

回复 7# cjzhx123
谢谢！在腐蚀的情况下，硅棒温度提高好哪？还是降低好？

发表于 2011-8-15 10:58:07

sicl4对si的腐蚀，据相关资料介绍温度要高于1200℃时才出现这种情况，反应温度控制在1100℃时较为合适

发表于 2011-8-17 20:51:50

回复 1# 临江曲
本人后来经过多次观察和操作，发现硅棒在生长中发生腐蚀主要发生在前期，前期还原炉内整体温度低主反应中是哪个产盐酸多的热分解反应，在操作中把硅棒温度维持在1120左右加大点进气量4个小时左右就把腐蚀的缝口补上了

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