多晶硅还原炉视镜模糊的问题

发表于 2009-2-25 08:12:56

为什么还原炉的视镜过段时间就开始变的模糊起来，看不清里面硅棒的生长状况。。
有什么好的办法防止这一现象么？
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-2-25 13:23 编辑 ]

发表于 2009-2-25 08:47:30

难道你的视镜没有冷却水进出口吗!?视镜结构很重要的!如果有冷却水进出口的冲洗,正常应该不会出现这样的情况的!附件中的左边的管路有吗!?同时视镜内部应该为喇叭口形状!见附件

发表于 2009-2-25 13:03:43

去的几个厂里都会出现这种情况，炉内反应温度高以及硅棒的辐射会使石英晶片模糊或者是花掉，有的是沉积一层膜，每次出炉的时候要擦干净

发表于 2009-2-25 13:04:14

反应炉内的介质也有原因

发表于 2009-2-25 14:17:59

同意一楼的说法，冷却没做好。

发表于 2009-2-25 16:53:32

与视孔氢气的流量和氢气与三氯氢硅配比也有关系。

发表于 2009-2-25 19:43:53

我同样觉得是冷却问题，我们这里从来没有出现过这种状况。唯一一次是视镜玻璃的垫片软化了，因为用的是国内的垫片，唉

发表于 2009-2-26 11:54:57

视孔镜片的温度太低了，产生了硅油

发表于 2009-2-27 08:43:16

干什么要警告我!第一张图片与以前的重复了,我知道的,可是在这边我只是为了说明视镜冷却水排管的问题!请执行者给予答复!太气人了!

发表于 2009-2-27 14:22:39

同意8楼的看法，其实和视镜的尺寸是否也有关系？大家用的炉子多大视口？

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