多晶硅生产装置表

装置
名称
作用
主
工
艺
HCL、TCS合成
制备HCL和SiHCL3
TCS精馏
提纯SiHCL3
还原
还原SiHCL3制得纯硅
转化
将还原炉尾气中的SiCL4加氢转化成SiHCL3
回收
回收还原炉、转化炉的尾气，将尾气中的H2、HCL、SiHCL3和SiCL4提纯并分离分别返回相应工艺系统回用。
硅芯制备
制作原始硅棒
产品处理
硅成品破碎包装
检验
生产过程物料及成品检验
辅助设施
制氢站
主工艺原料
制氮站
主要作保护器
供热系统
给主工艺供热
冷冻系统
给主工艺供冷
循环水系统
供主工艺冷却
废物处理系统
环保设施

呵呵，只能算是一个概略表啊。多晶硅生产工序和设备多的很。

谢谢，真不错的材料！

谢谢，真不错的材料,希望能介绍的更深入