求助，最近出的硅棒，老是出现硅芯表面异色膜

发表于 2011-8-21 18:54:40

最近出的成品硅棒，老是出现硅芯表面异色，严重的剥离，启停炉的方法均没有太大的变化。求各位高手解

发表于 2011-8-21 22:24:51

什么位置？是否和石墨卡件被污染有关？

发表于 2011-8-21 22:51:41

您先说硅棒然后说硅芯表面有异色膜是敲碎了有异色膜还是拉出来的硅芯有异色膜呢

发表于 2011-8-22 02:07:33

蓝色膜是不？有水分。

发表于 2011-8-22 08:52:41

上图片看看以便诊断！

发表于 2011-8-22 15:36:19

硅芯表面有水全夹层

发表于 2011-8-22 20:25:40

最好上个图片，方便诊断

发表于 2011-8-29 21:23:38

硅芯异色膜。是进水或进空气了。最好传个照片

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