多晶硅还原过程中各反应的反应热和转化率

发表于 2011-8-25 20:55:45

在还原炉中主要是这三个反应
SiHCl3+H2→Si+3HCl
4 SiHCl3→Si+3SiCl4+2H2
SiHCl3+H2→SiH2Cl2+HCl
哪位坛友知道每一步的反应热，还有每个反应各自的转化率，以及在总反应中占的比例，能否告知下，感激不尽！

发表于 2011-8-30 17:01:55

没有人回复！是贴子重复了，还是对后两个问题保密？

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