关于高压启炉成功后为啥空烧？

发表于 2011-9-3 19:46:34

还原炉高压启动成功后，温度也升到1080度了，为什么还要空烧30分钟？

发表于 2011-9-3 22:03:20

这么简单？空烧时是炉子生长过程中温度最高的时候，这时候用氢气空烧，可以出去硅芯表面的杂质，氢气先走动一番，使气场温度达到均衡吗，有利于进料

发表于 2011-9-4 10:32:00

没了吗？就这么点原因?

发表于 2011-9-4 10:32:21

没了吗？就这么点原因?

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