多晶硅的精馏疑问

多晶硅生产原料中三氯氢硅中不能进入水，为什么在精馏的蒸汽还是用水蒸气，就不怕三氯氢硅气体中带入水蒸气吗？但即使水蒸气都冷凝成液体也会流入塔釜。

LZ说的蒸汽是指用在哪里呢？精馏塔的再沸器吗？
如果是的话，蒸汽是在换热器中，除非换热器漏了，才可能与氯硅烷接触啊！
再沸器的热源也有使用热油的。

氯硅烷很怕水的，如果是用水加热，换热器一般是用安全换热器（双管程，双管板的换热器。设有安全报警装置。）

换热器加热两相是不相接触的

分管程和壳程的。