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求干法尾气回收的详细步骤

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发表于 2011-8-22 20:04:45 | 显示全部楼层 |阅读模式
RT,那位坛友懂多晶硅尾气干法回收步骤,最好详细一点,不胜感激!
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发表于 2011-8-28 21:52:27 | 显示全部楼层
大哥,这个你还问啊!你是不是搞尾气的啊??
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 楼主| 发表于 2011-8-28 23:34:23 | 显示全部楼层
回复 2# 凌晨零点2010
    呵呵,我也是刚接触,不懂的还多,大家多多交流~
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发表于 2011-9-6 22:59:30 | 显示全部楼层
我们生产多晶硅用的是改良西门子法,尾气回收有三套系统,主要程序有通过低温冷凝法分离尾气中的氯硅烷,氯硅烷吸收法分离出氢气和氯化氢气体,最后用精馏法分离出氯硅烷中的氯化氢气体。
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发表于 2011-9-7 14:37:03 | 显示全部楼层
低温冷凝法(分离出氯硅烷)
氯硅烷吸收法(分离氯化氢和氢气),这有什么区别呢?
精馏分离法分离出氯化氢?
求详解
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发表于 2011-9-7 14:37:22 | 显示全部楼层
低温冷凝法(分离出氯硅烷)
氯硅烷吸收法(分离氯化氢和氢气),这有什么区别呢?
精馏分离法分离出氯化氢?
求详解
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