硅烷的管道输送

回复 12# bake8
请问，有没有这方面的资料可以看呢？

本帖最后由 wangli115 于 2011-9-7 22:34 编辑

硅烷输送，根据反应器的出口问题，相应的使用换热器调整硅烷温度至常温，压力倒是一般不会刻意控制，所以在选材方面主要注意就是物料腐蚀和高温腐蚀，压力一般在0.4-0.6MP不会很高。

看硅烷运输是在哪个工序啊！如果硅烷是提纯之前可以用碳钢的，在提纯后送往还原工序，为了得到高纯的多晶硅，当然需要用不锈钢，输送到时候常温就可以了，压力当然6-10bar吧，选用合适的压缩机
防护措施：在合适的地方安装安全阀、爆破片、气体泄漏检测仪、系统的在线水含量、氧含量检测分析仪等等
，房子硅烷超压、泄漏、水氧等含量的超标。
具体的安装地点及方式，可以问下设计院相关人员

我看大家的回答都有点误会了，楼主问的是硅烷，不是氯硅烷。貌似回帖的都是用改良西门子法的。

回复 11# sundancekid
    有啊，我公司就有低压输送部分

管道内壁应充分洁净,抛光成镜面,硅烷在不洁净的接触面上很容易常温沉积。
管道输送应采用双套管,夹层抽真空,并每隔一段距离装上压力表,实时监测是否泄漏。
输送压力视情况而定,建议查阅下硅烷临界点的温度、压力。

回复 18# dingdaliang 谢谢你的帮助。我想把流程中生产的SiH4直接灌装到钢瓶中，钢瓶的压力温度如何？灌装的过程中应该注意什么？如何灌装呢？谢谢！

硅烷的灌装是个技术活儿,国内硅烷灌装的,据我所知只有一家,防暴墙,气路等等,相应配套的十分复杂.
我们现在的设计思路是:将液态硅烷加压后直接灌入低温槽中的钢瓶,然后将钢瓶放置常温下,硅烷汽化,只要钢瓶能耐得住相应压力就行,

回复 19# dingdaliang
   你的这个思路我明白，如果该工艺是一个连续流程，不断的产生硅烷，应该需要先进储罐然后再进行灌装吧？你们有这方面的经验吗？谢谢！