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关于多晶硅湿氮除硼,请指教

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发表于 2011-9-16 21:08:02 | 显示全部楼层 |阅读模式

据说 湿氮除硼是国外技术  目前国内没几家   有没有详细内容  拿出来  指点一下

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发表于 2011-9-16 23:01:04 | 显示全部楼层
我们公司有湿法除硼,不过是一个败作,用水除硼,不知道你们说的湿法是怎么个湿法!
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发表于 2011-9-16 23:21:07 | 显示全部楼层
才看到湿氮除硼,这个版块有个老帖!我们是用湿氢气,在三氯氢硅合成工段除硼!
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发表于 2011-9-17 07:54:43 | 显示全部楼层
本帖最后由 wangli115 于 2011-9-17 09:23 编辑
湿氮除硼有点危险,你用树脂吸附除硼吧,目前是主流。
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发表于 2011-9-17 09:05:03 | 显示全部楼层
树脂除硼技术,是很好的方法。
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发表于 2011-9-17 11:21:16 | 显示全部楼层
回复 4# luoye888
   湿氮除硼的危险性主要在哪?
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 楼主| 发表于 2011-9-17 20:23:44 | 显示全部楼层
大概是知道点  就是  夹带水分的氮气和氢气 进入 塔底 与重组分  也就是高沸物反应  生成 二氧化硅 和 络合物  有很强的吸附硼的作用    但是具体的 不清楚  有这方面的 资料 希望大家别吝啬!!!1
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发表于 2011-9-17 21:37:35 | 显示全部楼层
https://bbs.hcbbs.com/thread-674000-1-1.html
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发表于 2011-9-18 09:47:50 | 显示全部楼层
回复 6# xingxing_0526
这个问题我在此论他中回复过,也是关于湿氮除硼的。
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 楼主| 发表于 2011-9-18 19:20:59 | 显示全部楼层
回复 8# zw1902
    有没有详细点得
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