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冷氢化反应是吸热还是放热?

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发表于 2011-9-5 15:36:39 | 显示全部楼层 |阅读模式
冷氢化反应是吸热还是放热?
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发表于 2011-9-5 15:48:49 | 显示全部楼层
微吸热.........................
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发表于 2011-9-6 17:10:00 | 显示全部楼层
当然是吸热啦
不然要加热器干什么
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发表于 2011-9-7 08:32:24 | 显示全部楼层
回复 2# Minos
TCS的热分解也是吸热反应,冷氢化与热分解好像是互为逆反应,两个都是吸热反应?为什么啊?
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发表于 2011-9-7 12:01:54 | 显示全部楼层
回复 4# 上山打虎
    TCS 热分解你指的是多晶硅的生成反应吗?如果是的话,那这两个反应不是同一个反应,怎么不可能都吸热呢?
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发表于 2011-9-7 15:36:02 | 显示全部楼层
回复 5# wuht0
    为什么不是同一个反应呢?冷氢化反应式是Si+H2+SiCl4==SiHCl3,热分解不就是倒过来么?
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发表于 2011-9-8 10:49:05 | 显示全部楼层
再顶一下,盼有高手来解答!
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发表于 2011-9-8 12:49:49 | 显示全部楼层
回复 4# 上山打虎
    热分解那是放热反应
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发表于 2011-9-9 08:34:14 | 显示全部楼层
回复 8# Minos
    多谢指点迷津!
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发表于 2011-9-9 11:29:26 | 显示全部楼层
回复 6# 上山打虎
    西门子法的气相沉积工艺的化学反应原理到目前为止仍未有谁能证明是利用2SiHCl3+H2—Si+SiCl4+2HCl来进行,还是一种猜想和行业的约定。
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