还原系统失氢怎么办

发表于 2011-9-20 18:15:52

如题，如果出现这种情况的应急预案

发表于 2011-9-20 18:48:51

正常生产中，氢气和三氯氢硅按一定比例反应，如果氢气短时间供应不上，可以考虑降料，降电流。等氢气恢复了，再慢慢恢复料量和电流。如果氢气彻底断了，可以考虑停炉。

发表于 2011-9-23 20:39:23

立刻切断TCS，然后适当降电流防止硅棒熔倒

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