还原炉尾气及CDI处理后氢气中的磷、硼等微量杂质的检测

        多晶硅生产过程中，从还原炉出来的尾气，以及CDI处理后的氢气中的磷、硼、碳、氧等


微量杂质，不知大家对其是否进行检测？请问是如何进行检测的？
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-3-20 17:01 编辑 ]

这个硼磷是很难检测。 普遍都是用气相色谱检测气体（尾气，氢气），精度到达如此精度很难。一般对固体液体样品可以用ICP-MS检测硼磷

多晶硅在气氛下，区熔1~2次成单晶硅后，进行测试。由于以磷为代表的V族杂质尚未挥发和分凝，因此导电型号应为N型。此时测得的电阻率，被看作是代表多晶硅中所含杂质磷的水平。用这根磷检验棒，在真空中区熔7次后进行测试，可以近似地认为V族杂质磷全部挥发，只剩下杂质硼。因此导电型号应为P型。所测得的电阻率，看作是代表杂质硼的水平。
    在非补偿的情况下，电阻率越高表示杂质越少，质量越高；反之电阻率越低，表示杂质越高，质量越低。
    所谓补偿，是指晶体中N型杂质和P型杂质都很多，两种杂质在导电方面所起的作用互相抵消了，表现出来的电阻率虽然很高，但是给器件质量产生很坏的影响。所以电阻率不能全面代表多晶硅的质量，还要看补偿度和杂质总浓度。

这个很难检测吧,都是在产品里检测啊!

关键知道尾气出来的磷硼是以那种形态存在，选择合适的工艺取样点，这样还是有操作性滴

楼主提出的问题的确很尖端，回收氢气中测磷硼还真没听说过用什么方法，顶一下！

我们用在线分析仪表检测尾气中杂质气体的含量

采用气相色谱，最好是在线分析，用六通阀进样，样品气体通过一个定量管，气体进样量为5ml左右，是可以得到准确值而不是相对值。前提是对色谱进行标定。多晶硅尾气组成配气不好找，建议采用外标法进行标定。即准确量取一定体积的纯氢气、或TCS、STC进样，得到的面积与进样量正正比。以后可以根据尾气出峰的面积来计算其准确含量。

在线质谱仪。可以快速多流路测量气体组分含量。

在线只能分析含量多的组分，像硼、磷杂质是几乎不能检查的吧