求助多晶硅设计方案

发表于 2008-10-12 08:04:15

求助多晶硅设计方案
工艺分类请继续添加流程1, 杜邦法（四氯化硅＋锌）
2 ,贝尔法（四氯化硅＋氢气）
3, 西门子法（三氯氢硅＋氢气）
4 ,U.C.C法硅烷法（硅烷分解）
5，DOW
6, 其他

大家参与
[ 本帖最后由 icing 于 2008-11-4 10:29 编辑 ]

发表于 2008-10-12 09:40:36

都在高度保密中。。。需要花大钱才能买到呀！

发表于 2008-10-20 09:27:39

上这么多,有什么秘密可言,只是大家没看到帖子吧

发表于 2008-10-20 17:14:11

楼主不相信的话，可以到论坛上搜索一下，看有没有有用的，我估计你应该得不到有用的东西，都是泛泛的说。

发表于 2008-10-20 17:47:46

现在都保密，谁有就发了

发表于 2008-10-21 13:03:56

1, 杜邦法（四氯化硅＋锌）
2 ,贝尔法（四氯化硅＋氢气）
3, 西门子法（三氯氢硅＋氢气）
4 ,U.C.C法硅烷法（硅烷分解）
5, 其他
请继续添加流程

发表于 2008-10-31 09:49:48

杜邦法的多一些

发表于 2008-10-31 10:01:20

贝尔法也不少

发表于 2008-10-31 10:40:42

增加陶氏工艺
国内正在设计：
原料：硅粉+HF+乙烯
后处理很先进。
国内第一套

发表于 2008-11-4 10:25:45

多晶硅流程图
[ 本帖最后由 icing 于 2008-11-4 10:30 编辑 ]

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