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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 氯硅烷金属杂质检测仪器？

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氯硅烷金属杂质检测仪器？

发表于 2011-9-2 09:27:29 | 显示全部楼层 |阅读模式

请问各位大侠，氯硅烷中个杂质（硼、磷、铁、铝、钙等）用什么仪器检测？

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发表于 2011-10-11 01:03:20 | 显示全部楼层

GC-MS可以检测。气相色谱-质谱联用仪

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发表于 2011-10-12 23:33:51 | 显示全部楼层

ICP OES可以不过好像检测限方面有点局限

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