关于还原炉雾化问题

发表于 2011-10-15 20:53:53 | 显示全部楼层

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温度过高或过低都会造成雾化，还有最常见的原因就是混合器配比过小，多余的硅粉不能完全沉积在硅棒而只有悬浮在还原炉，导致炉内浑浊，不仅影响沉积速率和观察炉内情况，还会造成原料的浪费

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