改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法

改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法
改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢，氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳能级多晶硅。
改良西门子方法是在传统西门子方法的基础上，具备先进的节能低耗工艺，可有效回收利用生产过程中大量的SiCl4  、HCl、H2等副产物以及大量副产热能的多晶硅生产工艺。
   
改良西门子法相对于传统西门子法具有以下优点
:
    ①节能:改良西门子法采用多对棒、大直径还原炉，可有效降低还原炉消耗的电能；同时对还原炉副产的大量热能进行综合利用。
   
②降低物耗:改良西门子法对还原尾气进行了有效的回收，所谓尾气，是指从还原炉中排一出来的混合气体，将尾气中的各种组分全部进行再利用，这样就可大大地降低原料的消耗。
   
③减少污染:改良西门子法是一个闭循环系统，使物料得到充分的利用，排出的废料极少。相对传统西门子法而言，污染得到了控制、保护了环境。
      
目前世界上的多晶硅工厂普遍采用改良西门子工艺生产多晶硅，其中最主要的是三氯氢硅还原法和硅烷法。
   
三氯氢硅具有合成温度低、[wiki]沸点[/wiki]低、分子具有弱极性、容易提纯；化学结构的Si-H键能比Si-C键能小，分子对称性比SiCl4差，故其稳定性较低，具有化学活性，易还原成元素单质，实收率较高等特点，因此，三氯氢硅氢还原法是目前应用最广的一种方法。



高手支招，此种方法对调节阀有些要求?